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品番 OP-006

品番 OP-006
カテゴリ 光学用 真空蒸着装置
装置本体 メーカー -
モデル -
チャンバーサイズ φ900×1110
(稼動有効範囲740)
拡散ポンプ メーカー 昭和真空
型式 SFD-22L
ロータリーポンプ メーカー アルバック
型式 VS2401
メカニカルブースター
ポンプ
メーカー アルバック
型式 PRC-006A
電子銃 メーカー 日本電子
型式 JST-10F
ハース数 15点
モニターチェンジャー 20点
マスフロー あり

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