新明和工業 VCD-1200

■装置本体
チャンバーサイズ：1200×1050×1370H
（稼動有効範囲1000）

■拡散ポンプ
台数：2台
メーカー：徳田製作所
型式：ESV-22S

■ロータリーポンプ
メーカー：アルバック
型式：VS1501

■メカニカルブースターポンプ
メーカー：アルバック
型式：PMB-012CM

■ネオコールド
型式：RCT-501S