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新明和工業 VCD-1200

品番 OP-004
カテゴリ 光学用 真空蒸着装置
装置本体 メーカー -
モデル -
チャンバーサイズ 1200×1050×1370H
(稼動有効範囲1000)
拡散ポンプ※2台あり メーカー 徳田製作所
型式 ESV-22S
ロータリーポンプ メーカー アルバック
型式 VS1501
メカニカルブースター
ポンプ
メーカー アルバック
型式 PMB-012CM
ネオコールド RCT-501S

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