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昭和真空 SGC-22SA-RF

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品番 OP-003
カテゴリ 光学用 真空蒸着装置
装置本体 メーカー 昭和真空
モデル SGC-22SA-RF
チャンバーサイズ
拡散ポンプ メーカー シンクロン
型式 SFD-22A
メカニカルブースター メーカー アルバック
型式 PMB-006
電子銃 メーカー 日本電子
型式 JST-10F
ハース数 15点×2
基盤加熱ヒーター あり
水晶モニター CRTM-5000SR
真空計 GI-D6
イオンプレーティング JRF-3000
ポリコールド PFC-550F
モニターチェンジャー 20点
APC あり
ペンデコ あり

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