シンクロン BMC-1100 DDI

■装置本体
メーカー：シンクロン
モデル：BMC-1100 DDI
チャンバーサイズ：Φ1100

■拡散ポンプ
台数：2台あり
メーカー：シンクロン
型式：HD-550

■ロータリーメカニカルブースター一体型ポンプ
メーカー：シンクロン
型式：MTR-630

■電子銃
メーカー：日本電子
型式：JST-10F
ハース数：15点×2

■基盤加熱ヒーター
あり

■光学モニター
型式：OPM-V1、LSE-8

■水晶モニター
型式：CRTM-5000

■真空計
型式：BRG-1B

■モニターチェンジャー
15点×2

■APC
あり

■ペンデコ
あり