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昭和真空 SGC-26SA

品番 OP-001
カテゴリ 光学用 真空蒸着装置
装置本体 メーカー 昭和真空
モデル SGC-26SA
チャンバーサイズ Φ1400
拡散ポンプ メーカー オプトラン
型式 ODA-28A
ロータリーポンプ メーカー 徳田製作所
型式 KP-7500
メカニカルブースター
ポンプ
メーカー 徳田製作所
型式 TMB-25

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